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手持式四探针测试仪 硅材料电阻率测试仪

产品简介

手持式四探针测试仪 硅材料电阻率测试仪RTS-3型手持式四探针测试仪体积小,精度高,测量范围宽,运用四探针原理能够测量硅晶块、晶片电阻率及扩散层、外延层、ITO导电箔膜、导电橡胶等材料方块电阻。

产品型号:SN/RTS-3
更新时间:2024-10-20
厂商性质:生产厂家
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手持式四探针测试仪  硅材料电阻率测试仪

型号:SN/RTS-3

RTS-3型手持式四探针测试仪体积小,精度高,测量范围宽,运用四探针原理能够测量硅晶块、晶片电阻率及扩散层、外延层、ITO导电箔膜、导电橡胶等材料方块电阻。

  技术参数:

  

 测量范围

 电阻率:0.01~1999.9Ω.cm;  
 方块电阻:0.1~19999Ω/□; 

恒流源

 电流量程分为100μA、1mA两档,两档电流连续可调

数字电压表

 量程及表示形式:000.00~199.99mV; 分辨力:10μV;  
 输入阻抗:>1000MΩ; 精度:±0.1%;  
 显示:以大屏幕LCD显示读数,直观清晰;极性、超量程自动显示;

四探针探头基本指标

 间距:1±0.01mm;  针间绝缘电阻:≥1000MΩ; 机械游移率:≤0.3%;
 探针:碳化钨或高速钢Ф0.5mm; 探针压力:5~16 牛顿(总力);

四探针探头应用参数

 (见探头附带的合格证)

模拟电阻测量相对误差
( 按JJG508-87进行)

 1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字

整机测量zui大相对误差

(用硅标样片:0.01-180Ω.cm测试)≤±5%

整机测量标准不确定度

 ≤5%

外型尺寸

 185mm(长)*90mm(宽)*30mm(高)

重量

 350g

电源

 锂电池,一次充电可连续使用100小时;

标准使用环境

 温度:23±2℃; 相对湿度:≤65%; 无高频干扰; 无强光直射

  适用场所:

   本仪器适用于半导体材料厂、半导体器件厂、科研单位、高等院校对半导体材料的电阻性能测试。

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